He aha te mea pai hei whakamahi mo te mowhiti e mau tonu ana i te CMP

He aha te mea pai hei whakamahi mo te mowhiti tonu o te CMP?

Ko nga Wafili Solicon he whare silicon i whakamahia i roto i te hanga silicoctor silicovuctor i roto i te tukanga whakaputa i nga raau hangai, e tohu ana i te whanui o te diameter o te Silicon Wafer, ko te pai ake o te mahinga o tenei Silicon Wafer, na te kaha o te kaha o te rafers, na roto i te reiti whakaputa he tino pai, e piki ana te utu o te waahi. Kei te kaha haere hoki te mahi whiu, na reira ko te tukanga whiu hei whakamahi i te mowhiti CMP tino pai

I te wa o te mahi whakairotanga, me pupuri te mowhiti o te CMP kia mau ki te kaihoroi i te wa o te kaupapa whiu. I te wa o te mahi whiu, ka honoa nga matū rereke, ka taea e enei wai te whakakotahi i nga riipene parakore, na reira me pupuri te mowhiti o te CMP, me etahi atu ahuatanga.

Ki te kohi, ki te hanga i nga mowhiti o te CMP e hiahia ana kia whai kiko te tukatuka tukatuka me te pumau ki te whakaiti i te panui o nga wafers i muri mai.

I te nuinga o te wa ka tohua e maatau nga tohu miihini motuhake e rua: PPS me te peeke ki te tukatuka me te whakaputa i nga mowhiti e mau tonu ana i nga mowhiti.

Ko nga rauemi PPS e whakaatuhia ana e te aukati i te ātete, me te aukati i te matū o te matū, me te momo tino ngoikore, me te nui o te utu o te CMP. Ko raro, a kua hanga he mekameka umanga katoa, me te whanau e whakaatu ana i te mahinga utu.

Ko Pesek te pupuri i te mowhiti he nui ake te ngoikore, ka rite ki te Pps CMP e pupuri ana i te mahi porotaka mowhiti, kia kaha ake te peehi i te kaha o te pāmahana, kia mau tonu te peek cmp Ko te Taiao Maakamana Tino-kaha e mau tonu ana, i roto i te waa, ko nga tikanga e mahi ana, ka roa ake, engari ka piki ake te utu ki etahi.